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                层面粗糙度印刷质量样品分析图像显微镜厂家




                来源:yiyi
                时间:2019-3-1 3:24:11

                层面粗糙度印刷质量样品分析图像显微镜厂家

                    印刷晶体管构造时关键的工艺集成问题
                    此时,我们需要考虑生产印刷晶体管时丁艺整合巾的各种问题。这些
                问题反过来又会影响各层所选用的材料。
                    层面粗糙度    印刷晶体管是一种多层的复杂设备。因此,每一单独
                层面的粗糙度是关键的参数。下层的粗糙度会对上层的粗糙度、覆盖率和
                针孔等因匝习素产生直接的影响。因此,粗糙度是一个关键的工艺参数。
                考虑到经典的流体问题,尽管总体粗糙度也非常重要,但高频粗糙度(即
                尖峰)通常是最关键的参数。在顶栅型结构中,半导体的粗糙度尤为重要
                ,而在底栅型结构中,栅极的粗糙度则是最重要的参数。
                    针孑L——在场效应晶体管中,栅极电介质通常被认为是关键性部件。
                从丁艺整合和生产的角度来看,这一点对于印刷晶体管来说也是毋庸置疑
                的。栅极电介质层不能出现气孑L是非常重要的,这是㈥为气孔会导致设备
                短路,功能丧失。反过来说,针孑L同粗糙度和润湿特性等密切相关,因此
                ,层与层之间的优化在这里就显得尤为重要。
                    阶梯覆盖率    从前文的工艺流程图可以很明显地看出,印刷晶体管
                本身就有大量的横断面拓扑结构。因此,阶梯覆盖率在过程优化中是非常
                重要的参数。考虑到大粒径颗粒覆盖(通常粒径为几十纳米或者更大)以
                及其后相对较薄的片层,片层间的完全覆盖就显得尤为重要;在多层印刷
                的过程中,印刷所用的液体必须能够包覆片层的垂直面。这对材料的流体
                黏度,蒸发率和润湿性等提出了要求。

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