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            喷墨印刷技术物理与技术油墨颗粒分析显微镜




            来源:yiyi
            时间:2019-3-1 3:17:00

            喷墨印刷技术物理与技术油墨颗粒分析显微镜

                技术概述
                印刷电子是半导体设备物理与技术、油墨化学及配方和印刷技术等一
            系列不同领域的技术融合。考虑到不同领域间的相互影响,应该将这三个
            方面作为整体来看待印刷电子。因此,在这一部分,我们将会通过如下方
            式讨论印刷电子:首先,介绍印刷晶体管,认识这个重要的部件以及印刷
            晶体管面临的挑战。基于这些分析,我们会接着介绍印刷晶体管的材料来
            认识印刷电子中能潜在应用的油墨。并且我们会分析不同印刷技术在印刷
            电子中是否合适。在此,我们将主要关注喷墨印刷技术对于实际应用的优
            缺点。
               
                打印晶体管:概述
                如前所述,多数印刷电子产品的首要驱动力是在印刷晶体管方面的应
            用。印刷晶体管本质上是由可打印材料制成的薄膜晶体管。换句话说,生
            产印刷晶体管的过程,就是印刷它的子个主要的组成部分,即导电电极,
            绝缘栅极电介质和薄层半导体沟道材料的过程。
                典型的印刷晶体管的截面图,这是一种底部栅极结构,栅极位于沟槽
            下方
                和打印平面图案相比,印刷晶体管所需要考虑的因素大不相同。首先
            ,印刷晶体管从本质上来讲是表面具有复杂构造的三维设备。因此,覆盖
            性、润湿性、透气性都是制备印刷晶体管过程中需要仔细考虑的因素。这
            些问题将会在下面进行进一步的讨论。其次,印刷晶体管中各片层间需要
            仔细对齐。举例来说,理想的印刷晶体管,栅极边缘需要与源极和漏极的
            边缘完全对齐,这样栅极和源极/漏极之间就只会有很小的部分出现重叠
            。由于存在叠加电容,过度的重叠会降低转换速率,同时,只有部分重叠
            也会因为存在较大的串联电阻导致晶体管性能下降。考虑到生产印刷电子
            设备时使用的是机械途径(如控制印刷层与基底的相对位置),重叠几乎
            无法避免,这将给印刷系统中的机械部件的性能和精确度带来极大的考验
            。第二点,在理想情况下,印刷晶体管,特别是栅极电介质和半导体,需
            要使用极薄、均一性极好的薄层,因为这会影响设备的静电完整性。

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