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            喷墨打印技术-印刷电子品制备分析图像显微镜




            来源:yiyi
            时间:2019-2-27 22:20:33

            喷墨打印技术-印刷电子品制备分析图像显微镜

                虽然打印生物材料的系统和技术发展迅速,并且能制备功能化的材料
            。接触打印技术,光刻技术能打印出纳米级分辨率的单层或者    印刷电
            子品作为一种喷墨技术的潜在应用,受到了广泛关注。从概念上讲,印刷
            电子品的目的是为了用印刷技术取代传统的光刻半导体生产技术。预期利
            用印刷技术能在塑料以及钢箔等廉价的、可弯曲的基底上生产简单的半导
            体系统,且极大降低成本。

                随后,总结适用于喷墨印刷的电子材料的分类。最后,讨论印刷电子
            设备和电路的制备方法。基于这些讨论,对印刷电子品的前景作出展望。

                从根本上来说,全球范围内对于印刷电子品的关注主要区I为印刷是一
            种普遍的技术。喷墨打印为不同的电子材料在特定位置的沉积提供了一种
            低成本的途径。这对于电子系统的成本具有特别重要的意义。
                传统的电子系统一般是利片J删减式光刻工艺制作。I]在任意电子材料
            中(如导体、二极管或者半导体)构建图案的过程一般如下:(1)在基质层上
            沉积电子材料,沉积通常采用真空条件下的化学气相沉积或者物理气相沉
            积;(2)随后基底用光刻胶涂覆;(3)光刻胶通过掩膜暴露于光刻系统巾;(
            __1)光刻胶在基底的掩模区域显影用于移除抗蚀剂;(5)利用湿化学法或干
            刻蚀法(如等离子)刻蚀去除沉积的薄膜;沉积的薄膜只在先前光刻胶被显
            影移除的区域被刻蚀;(6)将剩余的光刻胶剥离使薄膜暴露;(7)最后。将
            基底清洗移除光刻和刻蚀过程中的残余杂质。这七个步骤的掩膜和刻蚀过
            程重复多次,最终得到复杂的没备和电路。

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